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半導體氧化鋁陶瓷機械手臂的應用

文章出處:http://www.ljx1031.cn/857.html人氣:9時間:2023-09-08

    近年來,隨著國家政策的調整,半導體產業發展迅速,產業規??焖僭鲩L,半導體制造設備不斷向精密化、復雜化發展,對高精度陶瓷關鍵部件的技術要求越來越高。目前,中國有數百家半導體設計和制造商,但大部分半導體設備和關鍵精密部件依賴進口,這極大地制約了國內半導體產業的發展。高精度陶瓷零件的價值占半導體設備的10%以上,全球市場約為100億美元,幾乎完全被美、日、韓等國外企業壟斷。中國半導體產業要實現高質量發展,就必須有自己的關鍵核心技術和產業資源支撐,開展半導體裝備用氧化鋁精密陶瓷產品的開發,其經濟價值和戰略價值都非常重要。

    此外,陶瓷機械臂在半導體器件中起搬運作用,相當于半導體器件的機械手,負責將晶圓硅片搬運到指定位置。由于硅片極容易受到其他顆粒的污染,所以一般在真空環境中進行。氧化鋁陶瓷和碳化硅陶瓷具有致密、高硬度、高耐磨性的物理性能,以及良好的耐熱性、優異的機械強度,在高溫環境下仍具有良好的絕緣性、良好的耐腐蝕性等物理性能,是用來制造半導體設備機械臂的優良材料。從材料性能來看,碳化硅陶瓷更適合制作陶瓷機械臂,但從材料價格、加工難度等經濟方面來看,氧化鋁陶瓷機械臂更具性價比。

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