精密陶瓷制造商
氮化鋁陶瓷、macor、氧化鋁陶瓷生產加工企業
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13412856568搜索關鍵詞： 氮化硅陶瓷加工 氮化鋁陶瓷加工 macor可加工微晶玻璃陶瓷
| 產品名稱 | 碳化硅陶瓷承載盤 |
| 加工精度 | 0.01mm |
| 是否定制 | 來圖定制加工 |
| 粗糙度 | Ra0.05 |
| 材料成分 | 碳化硅陶瓷 |
| 我要定制 | 按客戶需求接受定制;歡迎來廠參觀！ |
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0769-82913501 |
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PRODUCT CATEGORIES
碳化硅陶瓷承載盤是半導體與光伏行業的核心承載部件，憑借材料特性滿足高精度生產需求。其硬度高達莫氏9.2級，耐磨性強，長期承載晶圓或硅片時表面不易磨損，使用壽命是金屬承載盤的5-10倍。 碳化硅導熱率達100-200W/(m·K)，能快速均勻散熱，避免加工中局部高溫導致的工件損壞。熱膨脹系數與硅材料接近，減少熱應力引發的形變，鈞杰陶瓷保障加工精度。 經精密加工，承載盤表面粗糙度達Ra≤0.05μm，平面度誤差≤5μm/m，配合微結構設計實現穩定承載。其耐等離子體腐蝕、抗化學侵蝕，適配蝕刻、沉積等工藝環境，為量產的穩定性與良率提供可靠支撐。
