精密陶瓷制造商
氮化鋁陶瓷、macor、氧化鋁陶瓷生產(chǎn)加工企業(yè)
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13412856568搜索關(guān)鍵詞： 氮化硅陶瓷加工 氮化鋁陶瓷加工 macor可加工微晶玻璃陶瓷
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氮化鋁陶瓷的機械性能與其共價鍵主導(dǎo)的晶體結(jié)構(gòu)密切相關(guān)，展現(xiàn)出“高強度 + 高硬度”的特性，同時兼具一定脆性。
在機械強度方面，氮化鋁陶瓷的抗彎強度通常為300 - 450 MPa，高于普通氧化鋁陶瓷（300 - 350 MPa），接近部分結(jié)構(gòu)陶瓷的水平。這種強度足以支撐其在半導(dǎo)體設(shè)備中作為承載部件（如晶圓載臺）使用，能承受晶圓自重及加工過程中的輕微機械應(yīng)力。不過，其抗拉強度較低（約100 - 150 MPa），抗沖擊性能較弱，使用中需避免劇烈碰撞或拉伸載荷。
硬度方面，氮化鋁陶瓷的維氏硬度為1200 - 1500 HV，遠高于金屬材料（如不銹鋼約200 - 300 HV），僅略低于碳化硅（2800 - 3400 HV）和氮化硅（1600 - 2200 HV）。這一硬度使其具備優(yōu)異的耐磨性，能抵御半導(dǎo)體制造中等離子體沖刷、化學(xué)試劑侵蝕帶來的表面損耗，延長零部件使用壽命——例如在刻蝕機的陶瓷電極中，高硬度可減少離子轟擊造成的材料剝落，避免污染晶圓。 
值得注意的是，氮化鋁陶瓷的機械性能會受制備工藝影響：燒結(jié)密度越高、晶粒越細小，強度和硬度表現(xiàn)越優(yōu)異。通過添加氧化釔等燒結(jié)助劑，可有效提升其致密度，進一步優(yōu)化機械性能，使其在嚴(yán)苛工況下保持結(jié)構(gòu)穩(wěn)定。這種“硬而強”的特點，使其在兼顧絕緣、導(dǎo)熱功能的同時，滿足了半導(dǎo)體設(shè)備對零部件機械可靠性的要求。
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