12英寸氮化鋁晶圓加熱盤（heater） 12英寸氮化鋁晶圓加熱盤是鈞杰陶瓷生產(chǎn)的又一款用于半導體設備上的重要陶瓷部件，目前該產(chǎn)品性能可完全比肩進口原裝件，經(jīng)過國內多家設備廠商的實際使用，具備良好的熱導性，溫度控制均勻，能滿足晶圓加熱的需求。目前該產(chǎn)品的外形尺寸為&