碳化硅陶瓷是一種具有多種優(yōu)良特性的材料，其用途廣泛，主要包括以下幾個(gè)方面： 1、半導(dǎo)體設(shè)備：在半導(dǎo)體制造中，碳化硅陶瓷用于外延生長(zhǎng)設(shè)備、刻蝕設(shè)備、氧化/擴(kuò)散/退火設(shè)備等關(guān)鍵部件，因其能適應(yīng)強(qiáng)腐蝕性和超高溫的環(huán)境。 2、國(guó)防軍工：除了防彈裝甲，碳化硅陶瓷還在其他軍事應(yīng)用中發(fā)揮重